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FormFactor、バーンインテスト用ワンタッチダウン対応300mmウェーハプローブを発表
[issued: 2007.11.07]
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米FormFactor社は、同社「Harmony」シリーズの最新製品、300mmフルエリア対応のプローブカード「Harmonyウェーハレベル・バーンイン（Harmony WLBI）」を発表した。Harmony WLBIは、1回のタッチダウンで約4万のテストパッドのコンタクトが可能となっている。バーンインなどの高温（最高130℃）の300mmウェーハ全面をテストすることができる。FormFactorではすでに、DRAMメーカー複数社に最新DRAMデバイスの信頼性テスト用としてHarmonyワンタッチダウンWLBIを出荷している。同社によると、この製品によりスループットが最大で1桁上昇し、市場投入までの期間を短縮できることが明らかになったという。
Harmony WLBIは、新しい「3DMEMS MicroSpringコンタクター」を採用した。高温バーンインテストに耐えるとともに、クリーニングの必要性を最小限に抑えるよう設計されている。
Harmony WLBIは、新しい「3DMEMS MicroSpringコンタクター」を採用した。高温バーンインテストに耐えるとともに、クリーニングの必要性を最小限に抑えるよう設計されている。
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