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ニコン、新型i線露光装置を発表、スループットは300mmウェーハ毎時200枚以上に
[issued: 2007.11.29]
i線露光装置「NSR-SF155」
同社は、2006年発表の従来機「NSR-SF150」から大幅な振動低減を実現するスカイフック構造(写真)を採用。スカイフック構造では、投影レンズを吊り下げることで床からの振動をシャットアウトし、大幅な振動低減を実現できるという。これにより重ね合わせ精度の大幅な向上と高スループット化を実現した。さらにNSR-SF155は、チャンバ内の熱対策による温度安定性向上とステージ の高速化を実現し、300mmウェーハで毎時200枚以上の高スループットを実現した。
スカイフック構造
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