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ニコン、新型i線露光装置を発表、スループットは300mmウェーハ毎時200枚以上に

[issued: 2007.11.29]

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i線露光装置「NSR-SF155」
i線露光装置「NSR-SF155」

 ニコンは、i線露光装置「NSR-SF155」 を開発したと発表した。次世代DRAMやMPUのノンクリティカルレイヤーの露光に威力を発揮するとしている。2007年12月から販売開始。

 同社は、2006年発表の従来機「NSR-SF150」から大幅な振動低減を実現するスカイフック構造(写真)を採用。スカイフック構造では、投影レンズを吊り下げることで床からの振動をシャットアウトし、大幅な振動低減を実現できるという。これにより重ね合わせ精度の大幅な向上と高スループット化を実現した。さらにNSR-SF155は、チャンバ内の熱対策による温度安定性向上とステージ の高速化を実現し、300mmウェーハで毎時200枚以上の高スループットを実現した。



スカイフック構造
スカイフック構造


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