大日本スクリーン製造は、同社半導体機器カンパニーが開発・販売する半導体製造用ウェーハ熱処理装置「LA-3000-F」が、日本機械工業連合会主催の「第28回優秀省エネルギー機器表彰」において日本機械工業連合会会長賞を受賞したと発表した。

　同社は、キセノンフラッシュランプの使用により消費電力を大幅に低減できる熱処理装置の開発に取り組み、加熱時に発生する課題を独自技術により克服、微細回路が形成されるウェーハ表面から深さ約1μmの領域だけを、1000分の数秒だけ1000℃以上に加熱することに成功。2003年12月から、同技術を搭載したフラッシュランプアニールのウェーハ熱処理装置であるLA-3000-Fの販売を開始している。

　同装置は、赤外線ランプでウェーハ全体を加熱する従来の熱処理装置と比べて、消費電力を1/3以下に低減でき、CO₂の消費量を72％ほど削減することを可能にしたという。ランニングコストの抑制とともに、地球温暖化防止に大きく貢献することが評価された。