東芝は、温室効果ガスのひとつであるPFCガスのフッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウムに固定化することで、水を使用せずに除去することができる乾式排ガス処理装置を、2008年度から四日市工場第4製造棟へ導入すると発表した。第4製造棟のフル稼動時には、従来の排ガス処理装置を導入したときと比べて酸排水量の約80％にあたる約900m³/日を削減できる見込みという。

　半導体製造工程では、ドライエッチングによる微細パターン加工の際、PFCガスを排出する。PFCガスはCO₂の数千倍の温室効果をもつため、排出量の削減が課題となっており、東芝では地球温暖化防止の観点から2004年から排ガス処理装置を導入して排出したPFCガスを分解処理している。

　しかし、従来の排ガス処理装置では、PFCガスの分解後フッ素成分を水に溶かして処理するため、環境負荷低減の観点からフッ素を含む酸排水の削減が課題であった。今回導入を決定した乾式排ガス処理装置は、従来装置と同等以上のPFCガスの分解能力を有しており、フッ素成分を化学反応によりフッ化カルシウム（CaF²）として固定化して処理することが可能。これにより、PFCガスの処理用の水が不要となり、酸排水量を大幅に削減することができるという。

　東芝では工場の廃熱の再利用や動力インバータ化を行うなど、地球環境に配慮した取り組みを行っており、同装置の導入については順次、四日市工場の全製造棟への導入を進め、同社グループの半導体工場への展開も検討するとしている。