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NEWS

アドバンテスト、Credenceドイツ法人を買収、車載半導体試験事業を強化 (2008.06.20)

　アドバンテストは、欧州の車載用半導体試験装置メーカー独Credence Systems GmbH社（CSG）を買収することに合意し、買収契約書に署名したと発表した。

　アドバンテストは、この買収によりCSG が有する顧客基盤および車載用半導体試験装置メーカーとして培ったアナログ技...


KLA-Tencor、32nm対応のオーバレイ計測装置「Archer 200」を発売 (2008.06.09)

Mentor、Ponteの買収によりDFMツールを強化 (2008.05.21)

メモリー市場の低迷がプローブカード市場にも影響 ——VLSI Researchの報告より (2008.05.21)

Mentor、DFT技術でNXPとの提携を発表 (2008.05.15)

AMAT、ArFリソ対応マスク検査装置を発表 (2008.04.30)

KLA-Tencor、転写される欠陥の識別を可能にしたマスク検査装置を発表 (2008.04.17)

産総研、ナノ電子デバイス研究センターを設立 (2008.04.09)

横河電機、ICハンドラ事業をテセックに譲渡 (2008.03.27)

ルネサス、40億円を投じて中国北京に後工程の新棟 (2008.03.25)

IMEC、45nm以降に適用可能なばらつき解析法を発表 (2008.03.19)

日立とIBM、32nm以降の半導体特性評価で協業 (2008.03.10)

SOKUDOのコーデベ、Spansionの32nm液浸に採用 (2008.03.03)

NEC、電子線ホログラフィを応用して極浅接合を可視化 (2007.12.11)

AMAT、明視野検査装置「UVision 3」を発表 (2007.11.29)

ARTICLES

SEMを使用した 新しいウェーハ検査レシピ 最適化方法 (2008.06.01)

暗視野検査装置とSEMレビューツールを効率よくリンクすることで十分な欠陥の捕捉率を達成することができる。米IBM社のイーストフィッシュキル工場においてSOIウェーハの検査レシピ最適化を行った。この新しい方法により迅速で効率がよく、簡素化されたデータフローが構築された。


デバイスのニーズを満たすための3次元分析が進歩している (2008.05.01)

原子レベルの制御が導く未来 (2008.02.01)

ナノテクを 牽引する計測技術 (2008.02.01)

Metrology and Inspection (2008.02.01)

SEMの将来性とは？ (2008.02.01)

ウェーハ両面の オーバーレイ自動測定技術 (2008.01.01)

Metrology and Inspection (2008.01.01)

Metrology and Inspection (2007.12.01)

光学測定をナノスケール測定に応用 (2008.01.01)

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