2007年1月号


Cover Story

CMPのアウトソーシングで プロセス開発と材料評価を効率化

CMPの能力をアウトソーシングすることによって、米Freescale Semiconductor社は、技術評価を加速させ、社内の資源(リソース)を必要とされる他の生産プロセスに集中してきた。


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アドバンスドエナジージャパン株式会社
金属材料のマグネトロンスパッタリングにおけるアーク抑制
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