ダラスMOS(Metal Wxide Semiconductor)工場No.6(DMOS6)は、面積19万ft2(約1万7650m2)の工場で1996年に建設され、2000年にクリーンルームは操業を開始した。この工場で、低消費電力DSPやASSPなどの広範囲の高性能半導体を製造している。工場の認定作業終了後、月産2500枚で量産を開始し、2005年4月時で月産1万4000枚まで生産能力を増加させた。DMOS6は、最高月2万5000枚まで拡大する計画である。

　同社テクノロジー・マニュファクチャリング・グループ、シニアバイスプレジデント
のKevin Ritchie氏は、DMOS6 の量産立ち上げ時には、その時点での最先端プロセス技術であるCu配線のC035で、プロセス認定に挑戦したという。TIは同時期に最先端技術で200mmから300mmへの量産移行を行っていたと同氏は述べている。専任のチームに知識を集約し、構造的なメソドロジーを構築することにより、300mm技術のプロセス認定を成功へと導いた。これにより、巨大な利益を顧客に与え、そしてTIの最初の300mm工場を成功裏に立ち上げたのである。

　DMOS6は、130nm、90nm、65nmの先端CMOS技術を使用したデバイスを大量に生産し、ベンチマークレベルの歩留まりを達成している。新製品を迅速に生産するため、マスクショップに製作の指示が迅速に出されるシステムが構築されている。主流の技術ノードはプロセス認定を経て約2年で次の技術ノードへと移行されている。130nm CMOS技術は2002年第3四半期にプロセス認定され、90nmは2004年第4四半期、65nmは2006年第2四半期にプロセス認定を終了した。現在は45nmのCMOS技術を開発中としている。

　DMOS6はCu配線を使用した130nmプロセスがカスタマ認定を経て量産を始めた最初の工場であり、130nm Cu配線ウェーハを月間1万枚の量産に達した最初の工場でもある。DMOS6は2002年7月に300mmウェーハで130nmプロセスの量産を開始している。 最初の製品は携帯電話のワイヤレスDSPだった。

　DMOS6は歩留まり改善のため、各部門にまたがるプロセスループ・チームを組織化している。これらのチームは、プロセスエンジニア、装置エンジニア、プロセスインテグレーション・エンジニアで構成されている。工場はまた、同一技術を量産している工場間の比較を容易にするため、標準化された。プロセス変更は、予期しないトラブルを避けるため、標準化された手続きのもとで運営されている。

　ランダム欠陥とシステマティック欠陥を検出し低減する方針で工場は運営されている。ランダム欠陥は工場と装置から発生するパーティクルを低減することで管理されている。システマティック欠陥は、プロダクトとプロセスからの要求に対するパラメータの感度に対して、E-テスト・データを解析し、理解、管理、最適化することによって運営されている。最適化された歩留まりは、ランダム欠陥が安定した基準に達したとき、そしてツールとプロセスの異常変動から来るシステマテック欠陥を管理することで達成される。

　ランダム欠陥とシステマテック欠陥の低減に追加して、FAB7は、歩留まりの基準レベル向上と異常変動の管理のため、インラインの欠陥検査装置を使用している。これは、電子ビーム、ベアーウェーハ検査、高解像を有す光学レビューステーション、EDX内臓のインラインSEMレビューステーション、ティルトSEM、判断機能を持つイールドディフェクトデータマネージメント・システムなどの自動欠陥検査装置群により、暗視野、明視野で欠陥を調査、分類をすることができ、ラインにフィードバックとフィードフォワードをかけることで目標が達成される。

　工場はArF(193nm)液浸露光装置、輪帯照明のための光学近接効果補正(OPC)、位相シフトマスク(PSM)を併用して使用している。ルールベースのOPCはプロセスバイアスの変動おさえ、モデルベースのOPCは、低誘電率絶縁膜(Low-k)やリソグラフィプロセスに必要とされるタイトなCDの光学的な近接効果をおさえる。グラフィックデータ・システムでの光学ルールチェック、レチクル上のタイトなCDコントロール、プロセスウインドウの検査は、実デバイスの量産立ち上げ時に歩留まりを下げる要因となる弱い箇所を見つけ出し、OPCに補正をかける。

　FAB7は周りの地域社会と環境への影響を低減するため多くの要素が盛り込まれている。工場は廃棄溶剤と酸を分けて回収する、分離した廃棄回収ラインが建設されている。操業上の利点は、複数フィルタの洗浄回数の低減、前段の逆浸透フィルタの交換回数、水再生の逆浸透の能力向上らがあげられる。最優良事例として、高いエネルギー効率をもつブラシレスDCモーターのファン設備、ビルディング自動化システム、冷暖房、空調の管理工場運営システム、太陽光の負荷低減のために、窓枠を少なくした、クリーンルームの外観らがあげられる。工場はESHの優れた実績により、シンガポール政府・雇用総局からゴールド・エクセレント賞を受賞している。