PROLITH 10は、米KLA-Tencor社のリソグラフィ最適化製品の最新版で、32 nm の設計からリソグラフィプロセスウィンドウの予測を可能にする。これにより、リソグラフィの実験量を半減させるとともに、開発のサイクルタイムおよび製品出荷までの時間を大幅に短縮する。

　PROLITH 10は、包括的なリソグラフィシミュレーションをOPC エンジンと組み合わせており、ユーザーは生産時と同等のOPC 効果をプロセス開発に取り入れることができるようになる。検証モデリングを利用することで費用効果が高いOPC に対応する設計が可能となる。

　最新バージョンでは、液浸リソグラフィ用のデザインに対し、詳細な予測精度でモデルベースのOPC を実現する。これにより、開発の初期の段階で、DFM (Design for Manufacturing)の洞察を提供することができる。また、PROLITH 10 はバーチャルリソグラフィセルとして、レジスト、露光装置、その他のツールが新しいノードで利用できるようになる前に、多種多様なリソグラフィプロセスと OPC 条件と補正を迅速に実験できるよう、設計者とプロセスエンジニアに対し高い予測精度を持った情報を提供する。これにより、長期の実験が不要になり、製品出荷までの時間が大幅に短縮される。

連絡先：米KLA-Tencor社 www.kla-tencor.com

　CR‐IC（Integrated Cartridge type repair head）は、ドライフィルム熱転写方式のカラーリペア性能を大幅に向上したLCDカラーフィルタ用のリペア装置。同社の従来フィルム熱転写方式カラーリペア装置の処理速度、およびリペアフィルム消費量を改善している。

　CR-ICでは、従来、大型ステージのエッジサイドに設置していたリペアフィルムフィーダーと、フィルム熱転写用ヒーターユニットが、1つのカートリッジに集積されており、このカートリッジが、ガントリーヘッドに計4式搭載されている。リペアフィルムフィーダーとヒーターユニットをカートリッジ化したことで、リペアフィルムのフィード時間、および使用済フィルムの廃棄時間が最短化。さらに、各色専用のヒーターを搭載しているため、フィルムの常時予備加熱と、各色個別に最適温度設定ができ、従来機に比べリペア時間を削減することができた。処理速度は、従来機の1回のリペア1分弱からCR-ICでは10秒台を実現。また、リペアフィルムの消費量は1回あたり約30mmから6mmに削減し、従来機比1/5を達成した。

　価格は、標準仕様で約1億2000万円。

連絡先：レーザーテック www.lasertec.co.jp