Agilent B1500Aは、パラメトリック解析ソフトウェア「EasyEXPERT」を搭載した半導体デバイスアナライザ。2種類の高電圧半導体パルスジェネレータユニット(HV-SPGU)モジュールに対応、最先端の不揮発性メモリーセル評価の要求に対応している。研究用途に向けた製品であり、単体測定器で不揮発性メモリーセルのテストを行うことが可能。標準搭載しているEasyEXPERTソフトウェアの機能拡張により，High-k材料を用いた絶縁膜評価などに必要なQSCV測定にも対応した。

　MRAM、PRAM、RRAM、NAND、NORフラッシュなど、不揮発性メモリー技術の要求に対応した単体測定器で、20Vを超える電圧レベルのパルスや、立ち上がり/立ち下がりの正確な制御を行うことができる。EasyEXPERT搭載のB1500AおよびHV-SPGUを使うことで、不揮発性メモリーセルの耐久試験を従来の10倍以上、高速に行うことができる。

　機能拡張によってHV-SPGUモジュールおよびアドバンストHV-SPGUモジュールに対応。両HV-SPGUは、モジュール毎に2つのチャンネルを有しており、最大5個のモジュールを搭載することが可能。両モジュールとも、20nsの立ち上がり/立下り時間、2mVの電圧分解能で、±40Vのパルスを出力することが可能となっている。

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　ACS(Automated Characterization Suite)は、米Keithley Instruments社の半導体特性評価向け統合テストシステム。統合ソフトウェアパッケージACSとさまざまな試験測定器で構成でき、さまざまな試験アプリケーションに対応する。デバイス、ウェーハおよびカセットレベルでのテストが可能。「4200-SCS型半導体特性評価システム」では、I-V印加/測定機能と超短パルス試験パッケージにより微小電流やDC印加測定が可能で、High-kゲートやIII-Vデバイス、メモリーなどの特性評価や信頼性テストが可能となっている。

　また、4200-SCS用のハードウェアオプションとして、「4205-PG2型パルスジェネレータカード」と3つのアプリケーションパッケージの販売を開始している。4205-PG2は、任意波形やパルス、セグメントARB(任意波形)機能を搭載し、複雑な波形を容易に生成する。ジェネレータは4200が1台につき4個まで搭載できる。ハードウェアに高耐久性出力リレーを採用し、フラッシュメモリーの寿命試験がほぼ無制限に可能になった。

　アプリケーションパッケージには、CMOSデバイスの評価に適した「4200-PIV-A」とIII-V族デバイスなどの評価に適した「4200-PIV-Q」、フラッシュメモリーの評価に適した「4200-FLASH」がある。4200-PIV-Aは、低電流領域での分解能を改善。4200-PIV-Qは、ゲートおよびドレインにパルスを印加でき、パルス幅は500nsからDC可変できる。静止(Q)点テストが可能となるため、待機電力やオフセットを考えた実動作に近い環境でのテストが行える。4200-FLASHは、セグメントARBにより書き込み/消去サイクルが簡素化でき、これによりマルチレベルセル(多値化セル)のフラッシュメモリーテストが容易になった。

　価格は、4205-PG2が133万円、4200-PIV-Aが399万4000円、4200-PIV-Qが532 万5000 円、4200-FLASHが266万2000円。

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