クリーンルームを過剰に建設したり過度に特殊化したりする日々はもう終わったのかもしれない。少なくとも、米Lawrence Berkeley研究所の研究員でエネルギープログラムのマネージャであるTengfang（Tim）Xu氏にとってはそうである。「理論上は、気流が10％増加するごとにファンのエネルギー消費量は30％増加する。汚染防止に必要なレベルまで設備を縮小すれば、エネルギーコストが大幅に節約できる」。同氏は最近、IEST（Institute of Environmental Sciences and Technology）のAccess the Experts教育シリーズの一環として「Sustainability Considerations in Cleanroom Design and Operation（クリーンルームの設計と稼動における持続可能性のための検討材料）」というオンラインコースを公開した。同コースの目標は、計画、設計、建設、稼動の観点から、クリーンルームとミニエンバイロメント（ME）の持続可能性について提言と指導を行うことである。

　通常、プロセス装置はクリーンルームのエネルギーの1/3を消費し、チラーやポンプは20％、気流装置はさらに20〜30％のエネルギーを消費する。残りは純水や市水の揚水、排気ファン、N2生成やその他のサポートツールによって消費される。

　Xu氏はISOクラス4のクリーンルームを6つ、クラス3のMEを実例として紹介、それらはすべて、現在の業界の特定文書により推奨されている気流量と圧力差要求値の点において、過度に特殊化されている可能性がある。同氏は、すでに機能している基準をなぜ変える必要があるのか、現在推奨されている基準は過度な特殊化が横行していると説明する。クリーンルームの計画段階で指導を行い、エネルギーについて検討することが重要であること強調し、階層的な情報収集アプローチを提案している。また、IEST-RP-CC012.2で新たに採用された、特定のシステムで推奨されている基準を公開している（図）。「エネルギーを効率よく使用することは環境の質を高めることになるだろう。クリーンルームのため、そして業界として、エネルギー効率、施設の信頼性、生産性と将来のための指導は、現在の基準に多大な影響を与える」と同氏は述べる。

　また、Xu氏は、たとえばシステムを評価し（プロセス、機械的、電気的なインターフェース）、低圧損の気流を確保し（機械的、アーキテクチャのインターフェース）、実用的な気流要件を決定するため（機械的そして制御）、ライフサイクルを通じて所有者による総合的な意思決定を推奨する。

　1つの例として4×2ftの12個のファンフィルタユニットをモデルとし、一般的な気流範囲でユニットのエネルギー効率を比較。すると、性能に大きな違いがあっただけではなく、要求範囲でうまく動作しないユニットがあった。HVACエアシステムの場合、評価すべき基準は、低圧損、適切な再循環システムの種類、換気回数、デマンドコントロールのろ過システム、ファンの効率性、ファンフィルタユニット、排気最適化と排気システムなどである。Xu氏は、MEやクリーンルーム内で気流を最適化することで、効果的な粒子状物質のろ過制御を維持しながら10〜85％の省エネが可能であると指摘している。