Metrology and Inspection

[2008年02月号]

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●プローブカード

 TrueScale PP40は、40μmまでのパッドピッチに対応したワイヤーボンドSoCデバイス向けのウェハープローブカード。最先端のワイヤーボンド・ロジックデバイスやSoCデバイスのウェハープロービングにおいて、高いテスト効率と並列処理性を実現する。独自のMicroSpring技術によって、40μmピッチのプロービングを数千ものコンタクトによって実現した。プローブカードの寿命が尽きるまでポジショニング精度は劣化せず(100万回を超えるタッチダウンに対応できる設計)、パッドサイズを小さくすることも可能。また、通常の使用において最小限のメンテナンスで済むよう設計されており、スプリングの位置調整が不要で、クリーニング頻度も従来型と比べて少なくて済むよう設計されている。

連絡先:米FormFactor社
www.formfactor.com



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